高能 UV 紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧對有機物具有極強的氧化作用；而異味高分子物質（如硫化氫、VOC 類，苯、甲苯、二甲苯等）在高能紫外線光束照射下，分子鏈斷裂；游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合分解成無害小分子、化合物，如 CO? 、H?O等。